[实用新型]一种用于晶圆抛光的旋转夹具有效
| 申请号： | 202121142773.5 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN215470362U | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 李健儿;冯永;张正;胡仲波;鲜贵容 | 申请（专利权）人： | 四川上特科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/06;B24B47/12 |
| 代理公司： | 成都诚中致达专利代理有限公司 51280 | 代理人： | 曹宇杰 |
| 地址： | 629200 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请提供一种用于晶圆抛光的旋转夹具，包括：下转盘和上转盘，上转盘同轴设于下转盘上方。下转盘和上转盘安装于同一框架，框架呈环形结构，上转盘的底面与下转盘的顶面相对设置，下转盘的底部设有第一电机，第一电机安装于框架底部，框架顶部设有第二电机，第二电机的转轴设有延长杆，延长杆朝向下转盘设置，延长杆的截面为多边形，上转盘顶部同轴设有连接管，连接管与延长杆同轴设置，连接管滑动套设于延长杆外侧，连接管外周转动设有推动盘，推动盘沿连接管的轴线方向移动，夹持稳定，可防止晶圆打滑。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 抛光 旋转 夹具 | ||
【主权项】：
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