[实用新型]一种单晶炉用中轴护盘有效
| 申请号： | 202121149668.4 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN214694458U | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 郑伟扬;王思锋;周宇;李莎;焦岳卫 | 申请（专利权）人： | 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 徐芝强;肖明芳 |
| 地址： | 755099 宁*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶炉用中轴护盘，其为一底部开口的盘状结构，包括环形的护盘侧壁、顶部用于承托石墨锅底的护盘顶座；通过底部的开口扣合在中轴盘上，护盘侧壁包合于中轴盘外壁上；所述护盘顶座的中心处，设有与上部石墨锅底适配的安装沉孔；所述的护盘侧壁的底部向外延伸，形成环形导流盘。该中轴护盘采用环形侧壁结合凸台及沉孔设计，保证匹配安装稳定性实现对中轴的无死角防护。采用外延式导流设计，避免硅液沿中轴进入下轴，损坏设备。该单晶炉用中轴护盘安装便捷，使用时只需将该部件放置于石墨埚底与中轴盘之间即可。一旦发生漏硅硅液沿埚底流经护盘不会对中轴盘及中轴造成损伤，可避免热场部件损失降低事故损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉用 中轴 | ||
【主权项】：
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