[实用新型]一种二维材料制备装置有效
申请号: | 202121176518.2 | 申请日: | 2021-05-28 |
公开(公告)号: | CN214782131U | 公开(公告)日: | 2021-11-19 |
发明(设计)人: | 王佩剑;王亚哲;潘宝俊 | 申请(专利权)人: | 浙江大学杭州国际科创中心 |
主分类号: | C23C16/30 | 分类号: | C23C16/30;C23C16/06;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/52 |
代理公司: | 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人: | 姚宇吉 |
地址: | 310000 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种二维材料制备装置,属于二维材料制备的技术领域,包括石英管,所述石英管第一端和第二端设有开口分别用于进气和出气;固定加热装置,所述固定加热装置设于所述石英管上下两端,所述固定加热装置用来固定并加热所述石英管;石墨工件,所述石墨工件直径小于石英管管径并设于石英管底部,所述石墨工件中部设有贯通扁槽;排气机构,所述排气机构设于所述石英管第二端开口处,用于石英管内减压排气;控制机构,控制第一流速条件和第一温度条件,使得石墨工件贯通扁槽内流场和温场相比石墨工件外在空间分布上更为均匀。通过使用本实用新型提供的二维材料制备装置可以在石墨工件贯通扁槽内获得大面积且均匀生长的二维材料。 | ||
搜索关键词: | 一种 二维 材料 制备 装置 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的