[实用新型]一种二维材料制备装置有效

专利信息
申请号: 202121176518.2 申请日: 2021-05-28
公开(公告)号: CN214782131U 公开(公告)日: 2021-11-19
发明(设计)人: 王佩剑;王亚哲;潘宝俊 申请(专利权)人: 浙江大学杭州国际科创中心
主分类号: C23C16/30 分类号: C23C16/30;C23C16/06;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/52
代理公司: 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 代理人: 姚宇吉
地址: 310000 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型提供了一种二维材料制备装置,属于二维材料制备的技术领域,包括石英管,所述石英管第一端和第二端设有开口分别用于进气和出气;固定加热装置,所述固定加热装置设于所述石英管上下两端,所述固定加热装置用来固定并加热所述石英管;石墨工件,所述石墨工件直径小于石英管管径并设于石英管底部,所述石墨工件中部设有贯通扁槽;排气机构,所述排气机构设于所述石英管第二端开口处,用于石英管内减压排气;控制机构,控制第一流速条件和第一温度条件,使得石墨工件贯通扁槽内流场和温场相比石墨工件外在空间分布上更为均匀。通过使用本实用新型提供的二维材料制备装置可以在石墨工件贯通扁槽内获得大面积且均匀生长的二维材料。
搜索关键词: 一种 二维 材料 制备 装置
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