[实用新型]双光束蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工装置

摘要

本实用新型涉及双光束蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工装置，包括间隔并列平行设置的第一光束系统和第二光束系统，光束系统沿光路传输方向均依次包含：激光器，产生激光脉冲；扩束镜，用于光束扩大和滤波；上反射镜，用于改变光束方向；下反射镜，用于改变光束方向；振镜扫描系统，用于控制光束偏转；聚焦场镜，用于光束聚焦；激光器、扩束镜和上反射镜均安装于X轴运动单元上，下反射镜、振镜扫描系统和聚焦场镜安装于Z轴运动单元上，Z轴运动单元连接于X轴运动单元上；聚焦场镜正对于吸附平台上的加工工件导电薄膜，吸附平台置于Y轴运动单元上。实现双光束、高精度、高速度的扫描，高效率刻蚀同时保证加工的精度。