[实用新型]一种多坩埚晶体生长炉有效
申请号: | 202121258785.4 | 申请日: | 2021-06-07 |
公开(公告)号: | CN214830775U | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 亓宏伟 | 申请(专利权)人: | 临沂大学 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00 |
代理公司: | 西安汇恩知识产权代理事务所(普通合伙) 61244 | 代理人: | 彭琼 |
地址: | 276000 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 一种多坩埚晶体生长炉,本实用新型涉及晶体生长设备技术领域,箱体的内腔顶部中间位置及内腔周壁上均固定有加热管,主动齿轮与相邻的从动转杆相互啮合,相邻的从动转杆相互啮合,位于箱体内的主动转杆和从动转杆上均套设固定有固定罩,固定罩上固定有导热固定管,导热固定管上的开口内设置有电动阀门,齿轮箱上固定有气泵,气泵的输出端上贯穿连接有导气管,导气管与齿轮箱贯穿设置,位于齿轮箱内的主动转杆和从动转杆上均开设有导气口,导热固定管内活动设置有坩埚,坩埚的下端穿过箱体后,固定有隔热块,设计合理,能够单独对一个坩埚进行操作,坩埚受热更均匀,方便安装和抽出坩埚。 | ||
搜索关键词: | 一种 坩埚 晶体生长 | ||
【主权项】:
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