[实用新型]一种PVD靶座布气装置有效
| 申请号： | 202121273572.9 | 申请日： | 2021-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN215163082U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 谢艺峰 | 申请（专利权）人： | 福建金石能源有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362000 福建省泉州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型的目的在于提供一种PVD靶座布气装置，该PVD靶座布气装置采用单层或多层结构设计，有利于反应气体的充分混合，同时通过布气孔位的排布(中间与四周位置进行差异化设计)有效解决气体不均匀的问题，单层或多层结构设计采用错位方式设计布气孔，此方式可避免因长时间溅射导致的气孔堵塞。从而使此布气装置能使气体更加混合充分，有更大面积且更均匀的作用于靶材表面，提升溅射镀膜成膜质量，提高太阳能电池片转化效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pvd 靶座布气 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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