[实用新型]多折扭转梁及包括其的非线性减弱的MEMS扭转镜

摘要

本实用新型属于微光机电领域，具体涉及MEMS扭转镜，特别是一种多折扭转梁及包括该多折扭转梁的非线性减弱的MEMS扭转镜。解决由非线性引起的频率范围和转角限制以及角度控制难度大等问题。多折扭转梁包括三组扭转梁、六组横梁及两组过渡梁，通过布置多组横梁使各段扭转梁的扭转中心与各自几何中心重合，减弱因多折扭转梁各位置扭转变形差异大而带来的MEMS扭转镜的运动非线性。结合可以提供线性扭矩的驱动器，实现非线性减弱的MEMS扭转镜。其在采用多折扭转梁时，不表现出明显的非线性特征，即谐振运动不出现非稳定域和双向扫频相差大的现象，静态转动不出现驱动力和转角之间的非线性关系，提升MEMS扭转镜的性能。