[实用新型]一种用于安装NXT-MK2光刻机的基础座有效
| 申请号： | 202121299282.1 | 申请日： | 2021-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN215219412U | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 何成伟 | 申请（专利权）人： | 协伟集成电路设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 何葆芳 |
| 地址： | 201614 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于安装NXT‑MK2光刻机的基础座，包括IF基础座、MBSF基础座和WHSF基础座，MBSF基础座包括MBSF基础座RC面体，MBSF基础座RC面体的上表面以矩形阵列的方式设有四个MBSF基础座内嵌不锈钢块，其中，靠近IF基础座的两个MBSF基础座内嵌不锈钢块上均设有MBSF基础座防震脚配件组件；MBSF基础座RC面体的四周外侧表面上均固定连接有一个MBSF基础座内嵌配件C型钢。本实用新型提供的基础座，能满足NXT‑MK2光刻机对基础座的刚性需求和防微震要求及其配套设备的安装环境，能够提供NXT‑MK2光刻机正常运行所需要的环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 安装 nxt mk2 光刻 基础 | ||
【主权项】：
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