[实用新型]一种新型氧化扩散炉高温炉体密封箱有效
| 申请号： | 202121311205.3 | 申请日： | 2021-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN214950593U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 王志盾 | 申请（专利权）人： | 青岛金立盾电子设备有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D17/00;F27D99/00 |
| 代理公司： | 山东易佰捷知识产权代理事务所(普通合伙) 37326 | 代理人： | 张晓 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型氧化扩散炉高温炉体密封箱，涉及半导体前道设备技术领域。本实用新型包括第一密封组件、第二密封组件和第三密封组件，第二密封组件的顶部与第一密封组件的下部连接，第二密封组件的底部通过密封垫与第三密封组件的顶部连接，第三密封组件的底部与第一密封组件的上部连接，第三密封组件包括储水室和密封主体，密封主体的前侧和后侧开设有储水室。本实用新型通过设置第二密封组件、第三密封组件和储水室，解决了现有的新型氧化扩散炉高温炉体密封箱的容量都是固定的，无法根据使用需求对高温炉体密封箱的容量进行增大，以及新型氧化扩散炉高温炉体密封箱内部的温度较高，无法对高温炉体密封箱的温度进行收集利用的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 氧化 扩散 高温 密封 | ||
【主权项】：
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