[实用新型]一种芯片的表层结构和芯片有效

专利信息
申请号: 202121351537.4 申请日: 2021-06-17
公开(公告)号: CN215451400U 公开(公告)日: 2022-01-07
发明(设计)人: 郑坤;林志东;吴伟鑫 申请(专利权)人: 厦门市三安集成电路有限公司
主分类号: H01L23/528 分类号: H01L23/528;H01L23/31
代理公司: 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 代理人: 连耀忠;林燕玲
地址: 361000 福建省厦门*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 一种芯片的表层结构和芯片,包括设置于芯片表面的金属互联结构,该金属互联结构表面设有焊盘,还包括至少一平坦介质层,该平坦介质层覆盖于金属互联结构外露表面且在焊盘处设有开孔,该平坦介质层开孔处侧壁与该焊盘之间形成有锐角。本实用新型能减缓芯片表面的高低起伏,进一步减小应力,还能避免应力差异大导致的开裂,提高芯片可靠性。
搜索关键词: 一种 芯片 表层结构
【主权项】:
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