[实用新型]一种硅棒粗磨精磨设备有效
| 申请号： | 202121352762.X | 申请日： | 2021-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN215547627U | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 朱晓平;姚亚君 | 申请（专利权）人： | 科莱思半导体智造（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | B24B25/00 | 分类号： | B24B25/00;B24B41/06;B24B47/12;B24B49/00;B24B41/02;B24B41/00 |
| 代理公司： | 浙江永航联科专利代理有限公司 33304 | 代理人： | 樊岑遥 |
| 地址： | 314100 浙江省嘉兴市嘉善县罗星*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及单晶硅加工技术领域，具体涉及一种硅棒粗磨精磨设备，包括底座、第一台体和第二台体，还包括控制器、固定机构和打磨机构，固定机构设在第一台体的顶部以用来固定硅棒，固定机构包括夹持组件和两个搭接块，打磨机构设在第二台体的顶部以用来打磨硅棒，打磨机构包括砂轮、角度调节组件、高度调节组件和滑动组件，夹持组件、角度调节组件、高度调节组件和滑动组件与控制器均为电性连接，本实用新型的一种硅棒粗磨精磨设备，能够精确调节砂轮的打磨高度和角度，从而满足精磨和粗磨的要求，同时能够在固定硅棒的同时，对其进行保护，防止造成硅棒的损坏，有效降低损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅棒粗磨精磨 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于科莱思半导体智造（浙江）有限公司，未经科莱思半导体智造（浙江）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202121352762.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
