[实用新型]一套带有背光源的工作台装置有效
申请号: | 202121357349.2 | 申请日: | 2021-06-18 |
公开(公告)号: | CN215117164U | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 曹宁飞;于福来;张昌清;刘涛 | 申请(专利权)人: | 浙江津芯微电子科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;F21V33/00 |
代理公司: | 亳州速诚知识产权代理事务所(普通合伙) 34157 | 代理人: | 艾玲 |
地址: | 311121 浙江省杭州市余*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及光刻技术领域,尤其为一套带有背光源的工作台装置,包括工作台、背光源组件、刷板和工作电机,所述工作台上端设置有工作板,所述工作台下端设置有立杆,所述工作板内部设置有背光源组件,所述工作板下端与工作台上端固定连接,所述工作板上端设置有定位块,所述工作台上端设置有旋转夹紧缸压片,所述工作台下端右侧设置有电机架,所述旋转夹紧缸压片下端设置有旋转夹紧缸组件,本实用新型通过设置的具有良好匀光性能的背光板源组件,以增加边缘的明暗对比,同时旋转夹紧缸方便固定工件托盘,又可以有效的利用空间,而且设置的可以水平移动的滑板能够进行自动清理,操作简单非常方便实用。 | ||
搜索关键词: | 一套 带有 背光源 工作台 装置 | ||
【主权项】:
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