[实用新型]晶圆电镀阴极挂具移动设备

摘要

本实用新型涉及晶圆搬运设备领域，尤其是晶圆电镀阴极挂具移动设备。该搬运装置包括直线移动机构、夹爪、夹持固定板、卡条、定位件和晶圆治具，所述夹爪的缸体固定在直线移动机构的升降部上，夹爪的两个手指上分别固定有两个夹持固定板，卡条和定位件固定在夹持固定板上，晶圆治具上设有用于嵌入卡条的卡槽，晶圆治具上设有用于穿过定位件的穿孔。本实用新型通过直线移动机构来实现装载有晶圆的晶圆治具的升降。通过夹爪来实现两个夹持固定板的开合。通过夹持固定板上的卡条嵌入晶圆治具的卡槽内，定位件穿入晶圆治具的穿孔内，来提高运载晶圆时的稳定性和抓取的牢固度。