[实用新型]一种转移薄晶圆的吸附装置

摘要

本实用新型涉及晶圆吸附设备技术领域，公开了一种转移薄晶圆的吸附装置，包括手柄和固定在手柄一端的吸盘，手柄内安装有真空发生器，吸盘上设有吸附组件，吸附组件包括开设于吸盘上的弧形槽和固定于吸盘上的弧形软环，弧形软环与弧形槽围成真空通道，真空通道与真空发生器连通，弧形软环背离吸盘的一侧开设有多个吸附孔。本实用新型不仅能够牢固地吸附产生翘曲的薄晶圆；而且材质柔软的弧形软环能够根据晶圆的外形产生适当的形变，能够减小对晶圆的压力，从而减小破片几率；并且弧形软环与晶圆的接触面积小，也能够降低对晶圆的污染。