[实用新型]一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置有效
申请号: | 202121389863.4 | 申请日: | 2021-06-22 |
公开(公告)号: | CN217351616U | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 李东振;王东海;徐军 | 申请(专利权)人: | 南京同溧晶体材料研究院有限公司 |
主分类号: | C30B15/34 | 分类号: | C30B15/34;C30B29/20 |
代理公司: | 深圳国联专利代理事务所(特殊普通合伙) 44465 | 代理人: | 汪丽丽 |
地址: | 211200 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置,包括炉体,所述炉体两侧相对开门结构,采用板状石墨电阻加热器,石墨硬毡作为保温材料,整体热场为双温区结构,圆形坩埚四周有四片板状石墨加热器,为主加热区,在蓝宝石板材大面平行的两侧设有后加热器,主加热和后加热温区由石墨硬毡作为隔热屏将两者隔开,隔热屏水平放置于坩埚盖上部且位于模具两侧。本实用新型双温区的设计避免晶体应力过大产生位错,开裂等缺陷,避免高温下由于熔体温度波动导致晶体产生气泡,确保晶体的高质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 尺寸 蓝宝石 板材 导模法 生长 装置 | ||
【主权项】:
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