[实用新型]一种去光阻-NOMAL清洗台有效

专利信息
申请号: 202121393461.1 申请日: 2021-06-22
公开(公告)号: CN215813736U 公开(公告)日: 2022-02-11
发明(设计)人: 耿彪 申请(专利权)人: 北京华林嘉业科技有限公司
主分类号: G03F7/42 分类号: G03F7/42
代理公司: 北京化育知识产权代理有限公司 11833 代理人: 闫露露
地址: 101100 北京市通州*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型公开了一种去光阻‑NOMAL清洗台,包括浸泡容器,所述浸泡容器内壁设置有安装筒,所述安装筒内壁设置有筒状支撑网,所述安装筒一侧设置有把手,所述浸泡容器一侧设置有脱气组件,且所述脱气组件包括箱体、安装框、过滤板和第二转轴,所述浸泡容器一侧内壁开设有出水口,所述浸泡容器一侧内壁开设有入水口,所述浸泡容器顶端设置有密封组件;本实用新型提供的技术方案中,通过设置脱气组件,使用完之后的去光阻液通过抽水泵抽到箱体中进行去气泡,减少去光阻液中的气泡,避免气泡过多影响光阻的溶解,使光阻清洗装置更好的工作。
搜索关键词: 一种 去光阻 nomal 清洗
【主权项】:
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