[实用新型]一种去光阻-NOMAL清洗台有效
申请号: | 202121393461.1 | 申请日: | 2021-06-22 |
公开(公告)号: | CN215813736U | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 耿彪 | 申请(专利权)人: | 北京华林嘉业科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人: | 闫露露 |
地址: | 101100 北京市通州*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种去光阻‑NOMAL清洗台,包括浸泡容器,所述浸泡容器内壁设置有安装筒,所述安装筒内壁设置有筒状支撑网,所述安装筒一侧设置有把手,所述浸泡容器一侧设置有脱气组件,且所述脱气组件包括箱体、安装框、过滤板和第二转轴,所述浸泡容器一侧内壁开设有出水口,所述浸泡容器一侧内壁开设有入水口,所述浸泡容器顶端设置有密封组件;本实用新型提供的技术方案中,通过设置脱气组件,使用完之后的去光阻液通过抽水泵抽到箱体中进行去气泡,减少去光阻液中的气泡,避免气泡过多影响光阻的溶解,使光阻清洗装置更好的工作。 | ||
搜索关键词: | 一种 去光阻 nomal 清洗 | ||
【主权项】:
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