[实用新型]一种硅片片盒离子提取装置有效
| 申请号： | 202121396098.9 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN215342524U | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 汤安付;刘维海;王锡铭;陈猛 | 申请（专利权）人： | 上海超硅半导体股份有限公司;重庆超硅半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201616 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片片盒离子提取装置，该提取装置包括有电控柜，X轴旋转轴，Z轴旋转轴，夹持装置和机架。经过巧妙而独特的工艺设计，自动摇盒子装置能同时满足200mm和300mm两种不同规格的片盒进行作业。当其在用于提取硅片片盒内部离子时，相对于手动摇盒子来说更加充分且稳定，受人为环境等因素影响较小，能真实反映出硅片片盒内部的离子状况，为避免硅片受片盒离子污染提供了有力保障，以及在硅片片盒的使用寿命上提供了重要参考价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 离子 提取 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
