[实用新型]一种带有输氧装置的蚀刻槽有效
| 申请号： | 202121400465.8 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN215103566U | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 任忠平;尹国钦;陈绍文;卞海刚;蒋晶晶 | 申请（专利权）人： | 宁波福至新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人： | 王亮;孙健 |
| 地址： | 315800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种带有输氧装置的蚀刻槽，包括蚀刻槽本体、槽体和放置座，所述的蚀刻槽本体上端面设置有槽体，所述的槽体底面中部设置有放置座，放置座端面中部以及四角处均设置有输气管，所述的蚀刻槽本体下端面中部设置有与放置座对接的对接块，所述的对接块前侧设置有接头。本实用新型具有提高蚀刻液反应速度、提高产品的生产效率等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 输氧 装置 蚀刻 | ||
【主权项】：
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