[实用新型]一种应用在真空镀膜设备上的双驱动转盘系统有效
| 申请号： | 202121435854.4 | 申请日： | 2021-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN215103522U | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 王英智;王开亮;王帅;刘洋 | 申请（专利权）人： | 沈阳乐贝真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人： | 王荣亮 |
| 地址： | 110135 辽宁省沈阳市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种应用在真空镀膜设备上的双驱动转盘系统，解决现有技术存在的镀膜工艺研发试验过程中，耗费时间较长，试验费用高，设备利用率低的问题。包括其上转动设置有若干组自转轴的下转盘，其特征在于：自转轴上、穿过下转盘的下端，分别设置有小齿轮，小齿轮分别与下转盘下方的自转大齿轮相啮合；自转大齿轮的空芯主轴与主轴轴承座相连，空芯主轴下端的空芯轴从动齿轮，与大齿轮驱动电机输出端的空芯轴主动齿轮相啮合；下转盘的转盘主轴穿过空芯主轴的中部通腔，且与转盘驱动电机的输出端相连。其设计合理，结构紧凑，自转轴可在沉积源前侧自转，有效缩短试验周期、节省费用，既适用于正常生产镀膜，也适用于研发试验，设备使用率高，实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用 真空镀膜 设备 驱动 转盘 系统 | ||
【主权项】：
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