[实用新型]一种晶圆棒中空石英焊接治具有效
| 申请号： | 202121441359.4 | 申请日： | 2021-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN216005670U | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 程宪良;钟明军 | 申请（专利权）人： | 无锡诺莱德智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C27/00 | 分类号： | C03C27/00 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 赵华 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆棒中空石英焊接治具，用于对中空石英进行固定，方便其余石墨进行焊接；包括固定底座，石英固定组件和石英管；所述固定底座呈直角设置，承载石英管及石英固定组件；所述石英固定组件包括设置在所述固定底座顶部的石英定位块，设置在所述固定底座垂直面的压板及石英支撑杆；所述定位块和压板配合将所述石英管固定在所述固定底座的垂直面上；所述固定底座的水平面上还固定设置有石墨；所述石墨固定设置在所述石英管的正下方；本实用新型的有益效果：可实现定位准确、防震动、操作简单，能严格保证并提高焊接时的精度。同时也防止因温度高伤到人。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆棒 中空 石英 焊接 | ||
【主权项】：
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