[实用新型]微流道热沉组件和芯片封装结构有效
申请号: | 202121446932.0 | 申请日: | 2021-06-28 |
公开(公告)号: | CN215528187U | 公开(公告)日: | 2022-01-14 |
发明(设计)人: | 李志恒;王郑;陈俊凯;陈铭汉 | 申请(专利权)人: | 佛山华智新材料有限公司 |
主分类号: | H01S5/024 | 分类号: | H01S5/024 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 侯武娇 |
地址: | 528251 广东省佛山市南海区狮山镇信息大道南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种微流道热沉组件和芯片封装结构,包括:两个盖板,其中一个设有进液流道,另一个设有出液流道,或者其中的一个同时设有进液流道和出液流道;两个盖板均设有固定孔;在同一盖板中,该盖板的固定孔与进液流道或出液流道连通,固定孔的孔径小于进液流道或出液流道的孔径;微流道热沉,设有过孔,过孔的孔径大于固定孔的孔径,微流道热沉设于两个盖板之间且使过孔与两个盖板上的固定孔对应;盖板与微流道热沉之间用于安装芯片;及连接件,用于穿设于两个盖板的固定孔和微流道热沉的过孔,并与固定孔装配固定。通过将连接件与微流道热沉共用冷却液流路,以最小的体积满足了使用需求,有利于设备的小型化。 | ||
搜索关键词: | 微流道热沉 组件 芯片 封装 结构 | ||
【主权项】:
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