[实用新型]氢化物气相外延系统有效
| 申请号： | 202121448484.8 | 申请日： | 2021-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN215251329U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 蔡德敏;徐琳;沈振华;张波;王建峰;徐科 | 申请（专利权）人： | 苏州纳维科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B25/14 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 赵世发 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种氢化物气相外延系统。所述氢化物气相外延系统包括：气相外延生长单元，其包括反应室、源气体供给机构和第一密封机构，所述源气体供给机构与所述反应室连接，所述反应室具有第一开口，所述第一密封机构与所述反应室连接并能够打开关闭所述第一开口；降温单元，其包括降温室和第二密封机构，所述降温室具有第二开口，所述第二密封机构与所述降温室连接并能够打开关闭所述第二开口；连接机构，所述连接机构至少用于固定连接所述反应室和降温室。本实用新型提供的氢化物气相外延系统，可以对外延生长的样品单独进行降温处理，从而提高了外延生长设备的利用率，提高了产出，进而降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 氢化物 外延 系统 | ||
【主权项】：
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