[实用新型]新型石英舟有效
| 申请号： | 202121450876.8 | 申请日： | 2021-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN214753675U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 陈庆敏;李丙科;张海洋 | 申请（专利权）人： | 无锡松煜科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 江苏漫修律师事务所 32291 | 代理人： | 熊启奎;周晓东 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型石英舟，包括左侧板、右侧板和连接左侧板、右侧板的若干横杆，横杆包括一组上横杆和一组下横杆，左侧板和右侧板采用竖向设置，在左侧板和右侧板的外侧面上设有定位柱，在左侧板和右侧板之间的横杆采用与水平方向倾斜设置，上横杆与下横杆的相对表面上开设有连续的卡槽，横杆上的卡槽垂直于横杆的中心线。本实用新型制作工艺更加简单，节省成本，且结构稳定可靠，使用便捷，具有更好的工艺效果。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 石英 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
