[实用新型]硅片悬浮传输机构

摘要

本实用新型涉及一种硅片悬浮传输机构，包括悬浮载台，所述悬浮载台的一侧表面设有多个气孔，以通过所述气孔往外吹出气体和/或将气体抽吸进所述悬浮载台内，以使硅片悬浮于所述悬浮载台设有所述气孔的一侧；所述悬浮载台上设有限位机构，所述限位机构具有可活动的止挡件，所述止挡件能够活动至从所述硅片远离所述悬浮载台的一侧挡住所述硅片的边缘部分。本实用新型提供的硅片悬浮传输机构，通过设置气孔实现了硅片在悬浮载台一侧表面的悬浮，通过设置限位机构，且限位机构具有可活动的止挡件，可从硅片远离悬浮载台的一侧拦住硅片，从而使得硅片能够始终悬浮在悬浮载台设有气孔的一侧。如此，可降低对气浮控制的要求。