[实用新型]一种冷泵及冷泵系统有效
| 申请号： | 202121475224.X | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN215595816U | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 路龙 | 申请（专利权）人： | 吉林华微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08;F04B37/14;F04B39/00 |
| 代理公司： | 成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310 | 代理人： | 唐维虎 |
| 地址： | 132000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种冷泵及冷泵系统，包括：冷泵本体、支撑件、底板和脚轮；冷泵本体位于支撑件的一侧，支撑件的另一侧与底板连接；脚轮位于底板远离支撑件的一侧；冷泵本体用于制造真空环境；支撑件和底板用于支撑冷泵本体；脚轮用于移动冷泵本体，如此设计，能够方便冷泵的移动和工作，提高了整体作业效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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