[实用新型]一种可混镀的真空电镀装置有效
| 申请号： | 202121479025.6 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN215163070U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 张忆霖;甘美婷;詹斯聪 | 申请（专利权）人： | 深圳立木表面处理科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 深圳市汇信知识产权代理有限公司 44477 | 代理人： | 赵英杰 |
| 地址： | 518105 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于真空镀膜机技术领域，公开了一种可混镀的真空电镀装置，真空镀膜机壳体上设置有真空机，真空镀膜机壳体左侧安装有靶材安装架，靶材安装架内部固定有平面耙和圆柱耙；真空镀膜机壳体内部安装转动底座，转动底座上安装有转盘，转盘上设置基片安装结构；基片安装结构设置有固定板，固定板上侧安装有转动电机和导向圆环轨；转动电机输出轴通过连接键与转动台连接，导向圆环轨与转动台下端的圆环槽相配合。本实用新型通过平面耙和圆柱耙在电源加热的作用下，将靶材电镀到工件表面上，提高了耐磨度；同时本实用新型能够带动工件旋转，能够覆盖到工件的任意面上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可混镀 真空 电镀 装置 | ||
【主权项】：
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