[实用新型]一种物理气相沉积炉有效
| 申请号： | 202121536975.8 | 申请日： | 2021-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN217298001U | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 董家海 | 申请（专利权）人： | 浙江诺华陶瓷有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京君恒知识产权代理有限公司 11466 | 代理人： | 王恒 |
| 地址： | 322100 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及气相炉设备技术领域，更具体的说是一种物理气相沉积炉。本实用新型提供一种物理气相沉积炉，其有益效果为可以实现对工作的气相沉积炉进行温度测量，从而确保气相炉内的温度为加工的适宜温度。一种物理气相沉积炉，包括气相炉、抽气口、气孔和温度传感器，气相炉上设置有进气口，气相炉上设置有气孔，温度传感器与气相炉外壁接触。一种物理气相沉积炉还包括盛放板，多个盛放板均固定连接在气相炉内部。一种物理气相沉积炉还包括盛放槽，多个盛放板上均设置有盛放槽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物理 沉积 | ||
【主权项】：
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