[实用新型]一种改进型硅片自动研磨机有效
| 申请号： | 202121543751.X | 申请日： | 2021-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN215148063U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 秦国梁 | 申请（专利权）人： | 江苏宏芯时代半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/08 | 分类号： | B24B37/08;B24B37/34;B24B41/02;B24B27/02 |
| 代理公司： | 江苏智天知识产权代理有限公司 32550 | 代理人： | 翟国明 |
| 地址： | 225411 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种改进型硅片自动研磨机，包括机架、工作台、上研磨盘和下研磨盘，工作台设置于机架内，下研磨盘固定在工作台上，上研磨盘固定在机架内部上端且设于下研磨盘上方；工作台上还固定有研磨辅助架，研磨辅助架包括依次连接的固定底座、延伸杆和半圆护栏；固定底座固定于工作台上，半圆护栏通过延伸杆设于下研磨盘与下研磨盘之间。本装置放弃了传统的游星轮和太阳轮，通过半圆护栏的设置，能避免离心力对硅盘造成损坏，同时利用独特的中心对称的半圆护栏设置，无需人工干涉，能完成研磨完毕后硅片的自动转移，自动化程度高，能提高生产效率，降低人工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进型 硅片 自动 研磨机 | ||
【主权项】：
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