[实用新型]一种半导体检测用探针平台有效
申请号: | 202121568154.2 | 申请日: | 2021-07-12 |
公开(公告)号: | CN214895454U | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 李云峰 | 申请(专利权)人: | 苏州翼云电子科技有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073 |
代理公司: | 深圳市宾亚知识产权代理有限公司 44459 | 代理人: | 黄磊 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体检测用探针平台,包括安装底板、驱动机构和探针安装机构;安装底板:其上表面外侧设有四根均匀分布的滑柱,滑柱的上端滑动连接有升降台;驱动机构:设置于安装底板的上表面左侧,驱动机构的上端与升降台螺纹连接;探针安装机构:均匀分布于升降台的上表面内侧;其中:还包括下滑座,所述下滑座滑动连接于安装底板的上表面中部,下滑座的上表面滑动连接有上滑座,上滑座的上表面中部开设有置物槽,置物槽的内部设有吸盘,所述驱动机构包括丝杆、第一齿轮和第三齿轮,该半导体检测用探针平台,装置能够进行自我调节,避免因探针压力过大而损坏半导体元件。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 检测 探针 平台 | ||
【主权项】:
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