[实用新型]一种具有AMP板卡的测试机有效
申请号: | 202121579111.4 | 申请日: | 2021-07-12 |
公开(公告)号: | CN214845638U | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 徐四九 | 申请(专利权)人: | 嘉兴威伏半导体有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R1/04 |
代理公司: | 浙江永航联科专利代理有限公司 33304 | 代理人: | 侯兰玉 |
地址: | 314200 浙江省嘉兴市平*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种具有AMP板卡的测试机,属于晶圆生产设备技术领域,包括测试机本体,在所述测试机本体内部安装有AMP板卡,在所述AMP板卡和测试机本体内壁之间设有一连接机构,所述连接机构包括开设在AMP板卡上的连接孔、固定连接测试机本体内壁上的连接柱和设置在连接柱上用于将AMP板卡锁紧在连接柱上的锁紧件,所述AMP板卡通过连接孔滑动连接在连接柱上,本实用新型具有方便了操作者对AMP板卡的安装和拆卸,减小对AMP板卡的损伤的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 amp 板卡 测试 | ||
【主权项】:
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