[实用新型]麦克风芯片、MEMS麦克风及电子设备有效
| 申请号： | 202121614808.0 | 申请日： | 2021-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN215072978U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 孙恺;荣根兰;孟燕子;胡维 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R7/02 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 远明 |
| 地址： | 215124 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的一种麦克风芯片、MEMS麦克风及电子设备，麦克风芯片包括：从下至上依次层叠的基底、第二绝缘层、振膜结构、第一绝缘层、第一背极板；振膜结构包括独立设置的第一振膜和第二振膜，第二振膜设置在第一振膜的外周边，第一振膜和第二振膜之间形成隔离槽；第一绝缘层为第一环形结构，第二绝缘层为第二环形结构，在垂直投影面上，第一环形结构的内轮廓和/或第二环形结构的内轮廓不超出第一振膜的投影。本申请实施方式提供了一种灵敏度高、结构规则、易于加工且有利于封装的麦克风芯片、MEMS麦克风及电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 麦克风 芯片 mems 电子设备 | ||
【主权项】：
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