[实用新型]一种便于清洁的晶圆检测装置

摘要

本实用新型公开了一种便于清洁的晶圆检测装置，包括检测主体，所述检测主体的内壁下端边缘位置开设有流水槽，所述检测主体的内壁四周设置有排水管，所述检测主体的内壁位于排水管的上端位置设置有排风管，所述检测主体的前端左下角设置有水泵，所述送水管的前端外表面固定安装有加药管，所述水泵的右端外表面设置有吹风机，所述检测主体的前端右下方位置设置有放水管，所述检测主体的下端外表面连接有底座，所述底座的内壁四周位置设置有橡胶条，所述钢筋网的下端外表面设置有弹簧。本实用新型便于增加晶圆检测装置的清洗便捷性，并且能够提高晶圆检测装置的使用效果，具有实用性。