[实用新型]一种氦检系统用全自动抽真空式氦检漏放气装置有效
| 申请号： | 202121632730.5 | 申请日： | 2021-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN215448353U | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 冉振为 | 申请（专利权）人： | 深圳华尔升智控技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 广东中禾共赢知识产权代理事务所(普通合伙) 44699 | 代理人： | 陈欢 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种氦检系统用全自动抽真空式氦检漏放气装置，包括工作台以及设置在工作台顶部的检漏机构，还包括设置在检漏机构上的锁紧机构，第一真空泵的一端固定连接有第一收集管，第一收集管的另一端贯穿箱体并延伸，第二真空泵的一端固定连接有第一抽气管，且第一抽气管的另一端固定连接在第一收集管的中间，当氦质谱检漏仪检测到工件发生泄漏的时候，关闭第一电磁阀和增压泵，随后通过开启第二电磁阀和第二抽气管上的第三电磁阀，驱动第一真空泵，第一真空泵将工件内部和箱体内的氦气抽取并泵入氦气瓶内，实现了一个真空泵同时将工件内部和箱体内的氦气进行回收，减少了结构，避免氦气泄露，节约资源，且减少了手动操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 系统 全自动 真空 检漏 放气 装置 | ||
【主权项】：
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