[实用新型]一种全自动硅片清洗机用清洗液回收过滤装置有效
| 申请号： | 202121655776.9 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN215310594U | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 陈忠海 | 申请（专利权）人： | 苏州德瑞姆超声科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D29/56 | 分类号： | B01D29/56;B01D29/96 |
| 代理公司： | 深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司 44504 | 代理人： | 陆婉 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型属于硅片技术领域，具体的说是一种全自动硅片清洗机用清洗液回收过滤装置，包括壳体；所述壳体的内侧壁固接有排水板；所述排水板的内部开设有排水孔件；所述壳体的内部设有有过滤板件；所述过滤板件的顶端固接有一号滤渣件；通过一号导向件、二号导向件和三号导向件的配合可以把水导向一号导向件，通过一号导向件和二号过滤件和三号过滤件的配合，可以把使用后的清洗水进行过滤，再通过抽水泵的输出使水可以再次使用，从而可以节省水的浪费避免环境污染，通过过滤板件可以使水循环利用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 硅片 清洗 回收 过滤 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州德瑞姆超声科技有限公司，未经苏州德瑞姆超声科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202121655776.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
