[实用新型]一种管式PECVD设备及其镀膜腔加热装置

摘要

本实用新型公开一种管式PECVD设备及其镀膜腔加热装置，镀膜腔加热装置包括两组对称地设于石墨舟上下两侧的加热组件，使镀膜腔的热场温度更均匀，有利于石墨舟均匀受热。每组加热组件包括若干根沿线性均匀铺设于石墨舟表面的加热棒，使石墨舟的表面均匀受热，避免石墨舟因尺寸过大而受热不均匀。石墨舟均匀受热，可避免硅片色差过大，有利于提升镀膜质量。每根加热棒包括至少两根加热丝、包裹于全部加热丝外周的支撑套及填充于支撑套内并用于隔开相邻两根加热丝的绝缘体通过改变加热器的类型来提升其使用寿命，降低故障率，降低镀膜腔内的热场温度不均匀的风险，仍能提升镀膜质量。