[实用新型]一种太阳能电池背板基膜试验装置有效
| 申请号： | 202121682389.4 | 申请日： | 2021-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN215988697U | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 刘勤学;杨正江;曾广武;万祥 | 申请（专利权）人： | 宁波勤邦新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/66 |
| 代理公司： | 宁波甬恒专利代理事务所(普通合伙) 33270 | 代理人： | 罗继亮 |
| 地址： | 315700 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种太阳能电池背板基膜试验装置，包括一对在同一水平面上对称排布的X向直线导轨，所述X向直线导轨在相对的侧面设置有X向滑移器，所述X向滑移器在相对的侧面固定连接有Y向直线导轨，所述Y向直线导轨的侧面设置有Y向滑移器，所述Y向滑移器的左侧面固定连接有安装立板。本实用通过配置负压空气组件和高压气流组件，可以对背板基膜上的微小气泡和破损进行放大，能够在极端条件下试验处背板基膜的品质好坏；通过将试验结构安装在直角坐标型平移机构上，试验结构能够自动地在一个平面上进行位置调整，从而实现对整个太阳能电池背板基膜的试验工作，确保了试验面的完整性，同时提高了试验的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 背板 试验装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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