[实用新型]一种清理装置及单晶炉有效
申请号: | 202121699039.9 | 申请日: | 2021-07-23 |
公开(公告)号: | CN215785454U | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 文永飞;马少林;邓浩;李侨;周锐;丁彪 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | B08B9/08 | 分类号: | B08B9/08;B08B9/087;C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 郭栋梁 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本申请公开了一种清理装置及单晶炉,清理装置用于清理待清理面,其包括:支撑件,设置有开孔;若干个剥离元件,连接至所述支撑件的远离所述开孔一侧的外表面,所述剥离元件用于与所述待清理面相抵靠;伸缩机构,连接所述支撑件,所述伸缩机构驱动所述支撑件往复运动,以使所述剥离元件与所述待清理面相互摩擦。本申请的清理装置能够在单晶炉拉晶的同时及时清理副室内壁沉积的挥发物,保证拉晶过程中副室炉壁无挥发物掉落,可极大的提高单晶硅棒成晶率。 | ||
搜索关键词: | 一种 清理 装置 单晶炉 | ||
【主权项】:
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