[实用新型]一种在线式超纯流体加热器有效
| 申请号： | 202121711749.9 | 申请日： | 2021-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN215637977U | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 季斌;郭鑫斌;赵东 | 申请（专利权）人： | 江苏昌耐能源科技有限公司 |
| 主分类号： | F24H1/14 | 分类号： | F24H1/14;F24H9/00;F24H9/18;F24H9/20 |
| 代理公司： | 北京众允专利代理有限公司 11803 | 代理人： | 沈小青 |
| 地址： | 212200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体公开了一种在线式超纯流体加热器，包括加热器本体，所述加热器本体的中部设置有外壳，所述外壳的内部设置有石英薄膜发热体，所述石英薄膜发热体的外表面设置有导电薄膜，所述导电薄膜的上下两侧位于所述石英薄膜发热体的外表面套接有汇流条，所述汇流条的外侧套接有加热元件接线端，所述外壳的上表面安装有进出水管道。将导电材料沉积在石英薄膜发热体的外表面，形成导电薄膜，石英薄膜发热体通过加热元件接线端进行电源的引入，能够在整个石英薄膜发热体的外侧的导电薄膜上均匀稳定的发热，当电气部分产生故障时，导电薄膜无法损坏熔融石英制成的石英薄膜发热体，从而能保证制程流体的超高纯度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 在线 式超纯 流体 加热器 | ||
【主权项】：
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