[实用新型]测试接触状态的检测装置

摘要

本实用新型公开了一种测试接触状态的检测装置，包括测试机、测试线、接头和晶圆的探针板，接头与探针板连接，测试机上设有第一针脚和第二针脚，所述接头上设有与所述第一针脚相应的第一安全针脚，与所述第二针脚相应的第二安全针脚，所述测试线设有第一连接线和第二连接线，所述第一连接线两端分别与第一安全针脚和第一针脚连接，所述第二连接线两端分别与第二安全针脚和第二针脚连接，所述第一安全针脚和第二安全针脚短接或通过电阻连接。测试机向测试针脚施加电压时，可以检测到相应的电流，则可以说明测试机、测试线、接头之间形成稳定的检测回路，即各个部件连接良好。从而减少因为接触异常导致的误测，降低排查异常原因的耗时。