[实用新型]高纯气体椭圆球形腔体缓冲器有效
申请号: | 202121742589.4 | 申请日: | 2021-07-28 |
公开(公告)号: | CN216079335U | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 姜锦龙;王衡遥;吴浩月;叶根;廖烽 | 申请(专利权)人: | 成都中科普瑞净化设备有限公司 |
主分类号: | F17D1/20 | 分类号: | F17D1/20 |
代理公司: | 四川三相专利代理事务所(普通合伙) 51341 | 代理人: | 谭德兵;许莹莹 |
地址: | 610041 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种高纯气体椭圆球形腔体缓冲器,其包括椭圆球形腔体、高纯气体进口和高纯气体出口;所述椭圆球形腔体设置于缓冲器内,用于缓冲通入的高纯气体;所述高纯气体进口设置于缓冲器上,且通过进口管道将高纯气体导入所述椭圆球形腔体底部;所述高纯气体出口设置于所述缓冲器顶部,用于气体的排出。本实用新型通过改进其内部结构和进出气体方式,在首次使用时提高高纯气体从下至上流动的过程中排除椭圆球形腔体中其它杂质气体的速度,缩短了高纯气体的初次置换时间,减少了高纯气体的浪费。 | ||
搜索关键词: | 高纯 气体 椭圆 球形 缓冲器 | ||
【主权项】:
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