[实用新型]一种晶圆瑕疵观测设备

摘要

本实用新型公开的属于观测设备技术领域，具体为一种晶圆瑕疵观测设备，包括支架、传输架、传输框和图像识别装置，所述支架的顶部通过螺栓固定连接顶部携带所述传输框的所述传输架，所述支架的内腔顶部通过螺栓固定连接所述图像识别装置，该种晶圆瑕疵观测设备，通过配件的组合运用，设置携带传输框的传输带，可配合携带圆槽的配合盘来对晶圆进行独立摆放传输，避免表面划伤，保证了晶圆的安全性，利用携带控制器和摄像头的图像识别装置对经过的晶圆进行图像获取，经过图库比对模块的比对后，当因为晶圆存在表面瑕疵而导致比对缺少，即可开启携带抽取泵的弯管把晶圆传递到抽取仓中，实现观测和分离的目的。