[实用新型]离子注入机中的靶盘垂直扫描运动机构有效
| 申请号： | 202121748101.9 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN215496617U | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 陈小蒙;王宜进 | 申请（专利权）人： | 无锡锐捷芯盛电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/317;H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214021 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了离子注入机中的靶盘垂直扫描运动机构，包括装置箱，所述装置箱的内左壁设置有注入孔，所述装置箱的内底壁固定连接有操控箱，所述操控箱的前表面固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有丝杆，所述丝杆的侧表面螺纹连接有滑动板，所述操控箱的上表面固定连接有滑道，所述滑动板的上表面固定连接有连接板，所述连接板的上表面固定连接有第一电动缸，所述第一电动缸的输出端固定连接有安装板，所述安装板的上表面固定连接有第二支撑杆，所述安装板的上表面且位于第二支撑杆的右侧固定连接有第二电动缸。本实用新型，通过设置有操控箱和第一电动缸，便于控制靶盘线性运动和升降运动，结构简化，成本降低。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 中的 垂直 扫描 运动 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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