[实用新型]一种居中曝光机构有效
| 申请号： | 202121750090.8 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN215642231U | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 袁大朋 | 申请（专利权）人： | 昆山爱克斯莫斯机械科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/00;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人： | 崔巍 |
| 地址： | 215335 江苏省苏州市昆山市昆山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种居中曝光机构，包括基座，所述基座上设置有光罩框，设置于光罩框下方的UVW轴驱动平台和光罩框上下运动驱动装置，所述光罩框内夹持有上光罩和下光罩，所述上光罩的上方设置有四个对位相机，所述四个对位相机分别设置于上光罩的四个角处，且所述上光罩和下光罩的四个角处设置有与对位相机配合使用的靶标。本申请所述的居中曝光机构，可以不需要安装边缘感应器来检测材料边缘位置，而是靠相机同时抓取图案靶标和材料边缘位置，实现超高精度的居中曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 居中 曝光 机构 | ||
【主权项】：
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