[实用新型]一种机械手片叉的标定装置有效
| 申请号： | 202121762887.X | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN215338251U | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 焦义康;陈还;张阔峰;夏效河;侍苏亮;罗良峰;王建宾 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/02 | 分类号： | G01B21/02;B25J19/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王亚琼 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型属于光刻设备技术领域，公开了一种机械手片叉的标定装置，包括连接机械手的上固定板、连接待标定片叉的下固定板、标定架和标定组件。标定架包括连接于上固定板的第一架体、连接于下固定板的第二架体、支撑架和弹性折弯部；第一架体上的支撑杆一端滑动连接于支撑架；弹性折弯部两端分别连接第一架体和第二架体，能够产生弹性弯折使第二架体和支撑架靠近第一架体；标定组件包括可拆卸连接于第一架体的限位开关和可拆卸连接于支撑架的检测件，当弹性折弯部产生弹性弯折时，检测件能够抵接并触发限位开关，完成标定。本实用新型的机械手片叉的标定装置，标定精度高且不需使用传感器，结构简单，降低了产品成本，提高产品可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械手 标定 装置 | ||
【主权项】：
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