[实用新型]晶圆清洗阀门装置有效
| 申请号： | 202121765815.0 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN215568304U | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 时岱;吴楠;杨军;包斌 | 申请（专利权）人： | 深圳市栗橡科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K31/04 | 分类号： | F16K31/04;F16K5/06;F16K5/08 |
| 代理公司： | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人： | 尹均利 |
| 地址： | 518107 广东省深圳市光明区凤凰街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆加工技术领域，且公开了晶圆清洗阀门装置，包括阀门外壳，阀门外壳的顶部焊接有固定块，固定块的顶部焊接有支撑连板，支撑连板的顶部固定连接有机罩外壳，机罩外壳的内部固定安装有驱动电机，驱动电机的输出端固定连接有轴杆。本实用新型中，通过接通驱动电机电源，驱动电机通过轴杆带动上方的转动弧形块转动，带动连接条上的焊接凸块一起转动，焊接凸块每转一圈都可以通过U型槽带动槽轮转动四分之一圈，槽轮每转四分之一圈正好可以带动转动阀杆下转动球体内的连通孔一起转动，让清洗液管道达到了连通闭合的效果，达到了定时控制清洗阀门开闭的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 阀门 装置 | ||
【主权项】：
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