[实用新型]一种用于浸蚀法的位错腐蚀装置有效
| 申请号： | 202121773215.9 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN215894167U | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 郝昕;甘林;胡世鹏;孙慧斌;赵海歌;罗奇;钟健;吴正新 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | G01N1/32 | 分类号： | G01N1/32;C30B33/10 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 于建 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于浸蚀法的位错腐蚀装置，涉及位错密度测量技术领域。该位错腐蚀装置包括若干层由上至下依次平行排列的放置台，放置台可用于放置片状的晶体，所述放置台的中间设有贯通的第一流通孔，第一流通孔用于供腐蚀液流通并腐蚀晶体表面的位错。该位错腐蚀装置放置于盛有腐蚀液的器皿中，通过在放置台上放置晶体，便于对晶体进行腐蚀，结构独特，通过第一流通孔保证晶体下方的腐蚀液流通，可放置多片晶体进行同时腐蚀，节约腐蚀时间和腐蚀液，相比现有技术采用塑料网导致塑料网内的晶体容易发生倾斜，晶体的下表面接触塑料网导致腐蚀不充分等问题，本申请位错腐蚀装置，晶体放置于放置台上不易倾斜，接触面积小，腐蚀充分。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 浸蚀 腐蚀 装置 | ||
【主权项】：
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