[实用新型]一种埚帮结构及单晶炉热场有效
申请号: | 202121825651.6 | 申请日: | 2021-08-05 |
公开(公告)号: | CN215800045U | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 谢志宴;杨少平;李侨;邓浩;周锐;程磊 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B35/00 |
代理公司: | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人: | 王胜利 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开一种埚帮结构及单晶炉热场,涉及单晶制造技术领域,以解决当石墨坩埚或坩埚托杆断裂后,导致石英坩埚下沉碎裂,进而使硅液流出的问题。所述埚帮结构包括:埚帮本体、填充件和埚托。填充件填充于埚帮本体的底部开口处,用于与埚帮本体配合承载热场中的石英坩埚。填充件可沿埚帮本体的底部至埚帮本体的顶部方向,与埚帮本体分离,填充件可沿埚帮本体的顶部至埚帮本体的底部的方向,与埚帮本体配合。埚托设置于埚帮本体的底部,用于支撑埚帮本体和填充件。所述单晶炉热场包括上述技术方案所提的埚帮结构。本实用新型提供的埚帮结构用于单晶制造。 | ||
搜索关键词: | 一种 结构 单晶炉热场 | ||
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