[实用新型]用于碳化硅生产尾料炉芯石墨制备高纯碳粉的装置有效
| 申请号： | 202121833992.8 | 申请日： | 2021-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN215756460U | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 凌子忠;赵喜生;郭莉;凌子恒;郭强;凌博;张健;徐其恩;饶正丹;李中恒 | 申请（专利权）人： | 甘肃润泽半导体新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/05 | 分类号： | C01B32/05 |
| 代理公司： | 兰州塞维思知识产权代理事务所(普通合伙) 62208 | 代理人： | 李华杰 |
| 地址： | 731400 甘肃省临夏*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了用于碳化硅生产尾料炉芯石墨制备高纯碳粉的装置；该装置包括管式石墨坩埚，依次围设在管式石墨坩埚外侧的惰性气体保护腔、刚玉套管、隔热层和金属外壳，以及设在管式石墨坩埚顶部的坩埚盖、设在管式石墨坩埚底部的气流分配结构；所述坩埚盖上设有第一电极棒，所述金属外壳上设有与管式石墨坩埚外壁连接的第二电极棒，所述第二电极棒依次贯穿惰性气体保护腔、刚玉套管、隔热层和金属外壳并延伸至金属外壳外部；本实用新型改进管式石墨坩埚结构和保温防护结构，减小了高纯碳粉提存工艺过程的能耗，有效降低了提存成本。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 碳化硅 生产 尾料炉芯 石墨 制备 高纯 碳粉 装置 | ||
【主权项】：
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