[实用新型]一种硅片加工用轴承同心度保证装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片加工用轴承同心度保证装置，包括底板，所述底板的中心处开设有开口，所述底板的两侧对称安装有安装座，所述安装座上安装有液压伸缩杆，所述液压伸缩杆的底端固定有支撑脚，所述液压伸缩杆的顶部设置有进油口，所述进油口上固定有进油枪，所述进油枪通过供油管与储油罐底部的供油泵连接，所述储油罐的外壁一侧安装有控制板，所述控制板电性连接供油泵。本实用新型结构新颖，构思巧妙，不仅可以节省维修时间，提高设备稼动率，同时轴承箱不拉偏保证轴承同心度，提高设备稳定性及硅片品质。