[实用新型]硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构及装置有效
| 申请号： | 202121890231.6 | 申请日： | 2021-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN215956645U | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 臧俊斌;崔丹凤;薛晨阳;张志东;张增星;李鹏璐;范正 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | H04R17/02 | 分类号： | H04R17/02;H04R17/10;H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 重庆萃智邦成专利代理事务所(普通合伙) 50231 | 代理人： | 许攀 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本申请涉及硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构及装置，具体而言，涉及麦克风装置领域；本申请提供的硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构，结构包括：衬底、第一电极层、压电材料层和第二电极层；由于该第一电极层、压电材料层和第二电极层的形状均为“T”形结构，且该“T”形结构的第一电极层的短端与开口空腔结构的开口位置的边缘连接，使得该第一电极层、压电材料层和第二电极层形成了悬臂梁结构，悬臂梁结构可以在声音的振动的作用下，进行振动，进而使得压电材料层上的电荷发生转移，则使得该第一电极层和第二电极层上的电荷量发生改变，即该麦克风结构的输出发生改变，通过对输出电信号进行检测，可以得到更为准确的声音信号。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂梁 mems 压电 麦克风 结构 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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